중국 장비 시험설 속 삼성은 부인…규제 변수 부상

삼성전자와 SK하이닉스가 미국의 대중국 반도체 수출 통제가 강화될 가능성에 대비해 중국 상하이의 장비업체 AMEC가 만든 식각 장비를 평가했다는 관측이 제기됐다. 약 2년 전 시험을 시작해 중국 현지 공장 도입 가능성을 살폈다는 내용이다. 삼성전자는 AMEC 장비를 중국 공장용으로 시험하거나 검토한 사실이 없다고 부인했고, SK하이닉스는 별도의 입장을 내놓지 않았다.

식각 장비는 웨이퍼나 그 위에 증착된 박막을 선택적으로 제거해 필요한 구조를 만드는 공정에 쓰인다. AMEC 제품은 중국 메모리 업체 양쯔메모리에서 이미 사용 중이며, 일부 장비는 시험 운용이 가능한 기술 수준에 도달했다는 평가를 받았다. 다만 이번 성능 검토가 광범위한 도입 결정으로 이어지지는 않았고, 생산능력 확대보다는 기존 생산라인의 유지와 개선에 대비한 예비 선택지 성격으로 거론됐다.

미 상무부는 2023년 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 공장을 검증된 최종 사용자로 지정해 통제 대상인 미국산 장비를 별도 허가 없이 반입하도록 허용했다. 이후 미국 정부가 이 자격을 취소하고 1년 단위 허가로 전환하면서 장비 조달의 불확실성이 커졌다. 삼성전자는 중국 시안에서 낸드플래시 공장을 운영하고 있으며, SK하이닉스는 다롄에 낸드플래시 시설, 우시에 D램 공장을 두고 있다. 이들 생산시설은 어플라이드 머티어리얼즈와 램리서치 등 미국 업체의 식각 장비 의존도가 높다.

중국 장비업체들은 첨단 노광장비와 일부 검사장비에서 해외 기업에 뒤처져 있지만 식각·증착·세정·평탄화 분야에서는 기술 격차를 줄이고 있다. 중국산 장비 가격은 기존 해외 제품보다 20~30% 낮은 것으로 조사됐다. 미국의 통제 범위가 신규 장비를 넘어 중국 공장에 이미 들어간 미국산 제품까지 확대될 수 있다는 우려가 현실화하면 현지 장비 확보 필요성도 커질 수 있다. 대중국 기술 통제가 중국산 장비의 외국계 공장 진입 기회를 넓히는 역설도 함께 부각됐다.