용인에 소부장 실증 거점…검증 기간 6개월 단축

용인 반도체 클러스터에 국내 소재·부품·장비 기업의 신기술과 신제품을 상시 검증하는 ‘트리니티팹’이 들어선다. 2024년부터 산업통상부와 SK하이닉스가 준비한 시설로, 내년 5월 전후 가동을 목표로 한다. 12인치 웨이퍼 기반 전 공정 라인을 약 1000평 규모로 축소 구현하고, 기업들이 자체 확보하기 어려운 노광·계측 장비 등 3000억원 상당의 설비를 갖춘다.

트리니티팹에는 계측·검사 장비 11대를 포함해 모두 37대의 반도체 장비가 배치될 예정이다. 실제 양산 공정과 유사한 환경에서 충분한 실증 데이터를 축적하면 소부장 기업의 양산 검증 기간은 기존 18개월에서 12개월로 줄어들 수 있다. 시험 과정에서 생산 라인을 내줘야 해 양산 규모가 감소하는 문제도 전용 테스트베드 활용으로 완화할 수 있다.

시설이 자리 잡을 용인 클러스터의 4.2㎢ 용지는 공정률 87%를 기록하고 있다. 팹 4기가 예정된 부지에서는 현재 1기 팹 절반 규모의 구역이 공사 중이며, 아파트 50층 높이의 골조에 외장 패널을 설치하고 있다. 폭염으로 체감온도가 33도를 넘으면 오후 1시부터 야외 작업을 멈추고 장비 중심으로 공사를 이어간다. 첫 클린룸 가동 목표는 내년 2월이다.

기반시설 준비도 진행됐다. 지난달 31일 신안성 공구에서 6㎞ 구간을 연결해 팹 2기를 가동할 수 있는 2.83GW 규모의 전력을 확보했다. 공업용수는 36.8㎞ 떨어진 여주보에서, 생활용수는 15.8㎞ 떨어진 유림배수지에서 공급받는다. 팹은 3층 클린룸, 2층 전기·가스·화학물질 공급시설, 1층 펌프·스크러버·칠러로 구성된 3복층 구조로 조성된다.

트리니티팹에서 생성된 실증 정보는 시험을 진행한 기업만 확인할 수 있고, 해외 고객사 제출에도 제약이 없다. 미국의 제재 이후 중국 판로가 막힌 국내 장비 기업은 이 데이터를 미국·유럽 반도체 기업의 검증 요구에 활용할 수 있다. 중앙·지방정부와 SK하이닉스, 소부장 기업의 협력을 뜻하는 시설 명칭처럼 국내 기술의 양산 진입과 해외시장 개척을 함께 지원하는 거점으로 구축된다.