비씨엔씨, 램리서치 에지 링 디자인 분쟁 법원행

반도체 부품업체 비씨엔씨가 세계 식각장비 시장 1위인 램리서치의 에지 링 디자인 2건을 무효로 돌리기 위해 특허법원의 판단을 받는다. 비씨엔씨는 등록번호 1026248·1026250 디자인을 유효하다고 본 특허심판원의 지난 5월 심결에 불복해 7월 하순과 8월 초순 심결취소소송을 차례로 접수했다.

두 회사는 서울중앙지방법원에서도 디자인 침해 여부를 놓고 소송 중이다. 램리서치가 원고, 비씨엔씨가 피고인 이 사건의 판결은 다음 주 선고될 예정이다. 비씨엔씨가 특허법원에서 디자인 유효 판단을 뒤집지 못하면 민사소송에서는 자사 제품이 해당 디자인을 침해하지 않았다는 판단을 받아야 한다.

에지 링은 식각장비 내부에 설치돼 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 확산하는 것을 물리적으로 막는 실리콘 부품이며, 주로 내플라즈마성과 내열성이 뛰어난 쿼츠로 제작된다. 양사는 관련 특허 3건도 다투고 있다. 특허심판원은 등록번호 2182298·2254224를 무효로, 등록번호 2646633을 유효로 판단했으며 램리서치와 비씨엔씨는 각자 불리한 심결을 취소해 달라는 소송을 특허법원에 냈다.

특허가 최종 무효가 되더라도 디자인의 유효성이 확정되고 비씨엔씨의 침해까지 인정되면 제품을 다시 설계해야 할 가능성이 있다. 사업에 미치는 영향은 분쟁 품목이 비씨엔씨 전체 링 매출에서 차지하는 비중에 따라 달라진다. 램리서치는 CMTX, SHM, 플라텍, 윌비에스엔티, 월덱스 등 국내 애프터마켓 업체와도 산업재산권 분쟁을 벌이고 있다. 윌비에스엔티가 등록번호 1708060 특허에 제기한 무효심판은 최근 기각됐고, 같은 특허로 지난 4월 기각 결정을 받은 플라텍은 5월 심결취소소송을 제기했다.