반도체 가스 15종, 국내 품질 검증 기반 마련

한국표준과학연구원(KRISS)이 반도체 식각·세정·증착 공정에 사용하는 고순도 가스 15종의 순도분석기술과 품목별 표준 시험절차를 확립했다. 측정 정확성을 점검하는 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종도 개발해, 공급업체의 자체 성적서에 의존하지 않고 국내에서 가스 품질을 객관적으로 평가할 기반을 갖췄다.

인증표준물질에는 정확한 기준값이 부여돼 현장 분석 장비가 올바른 값을 측정하는지 검증할 수 있다. 이를 통해 서로 다른 장비와 기관이 산출한 측정 결과의 신뢰성과 비교 가능성을 높였다. KRISS는 구축한 분석 시스템으로 현재까지 모두 34건의 시험서비스를 제공했으며, 15개 전 품목을 대상으로 시험분석 서비스를 운영할 수 있는 체계를 완비했다.

품질평가 대상은 2020년 불화수소 시험서비스를 시작한 뒤 단계적으로 확대됐다. 특히 국산화와 공급처 다변화가 활발한 불화수소를 중심으로 시험 수요가 이어졌다. 분석 결과는 가스 제조기업이 자체 분석법의 타당성을 확인하거나 제조·정제공정을 개선하는 데 쓰였고, 수입 제품과 국산 제품의 품질을 동일한 기준에서 비교하는 자료로도 활용됐다.

이번 체계는 반도체 소재 국산화 제품이 산업 현장에서 채택되는 데 필요한 품질 근거를 객관적인 측정 데이터로 제시할 수 있게 했다는 데 의미가 있다. 오상협 KRISS 가스측정그룹 책임연구원은 제품 신뢰성을 데이터로 입증하는 절차가 산업 적용에 필수적이라고 강조했다. 연구원은 가스 측정표준과 분석 역량을 활용해 국내 기업의 품질관리와 공급망 대응을 지원할 계획이다.