HPA 특허전, 삼성 납품 장비 영상 놓고 공방

고압수소어닐링(HPA) 장비 특허침해소송에서 HPSP와 예스티가 삼성전자에 공급된 ‘30S’ 장비 영상의 추가 제출 필요성을 놓고 맞섰다. HPSP는 13일 서울중앙지방법원 변론에서 30S의 작동 구조를 확인해야 한다고 요구했다. 예스티는 법원에 낸 ‘30L’ 영상 속 장비와 30S의 하부 구조가 같아 별도 제출이 필요하지 않다고 반박했다.

HPSP는 30S가 정상적으로 작동한다면 도어 이탈을 막는 회전체결링이나 이에 대응하는 기술이 존재할 수 있고, 후자의 경우에도 균등침해가 성립할 여지가 있다고 주장했다. 회전체결링은 하우징 바깥에서 걸림돌기를 맞물리게 해 도어의 닫힘 상태를 유지하는 기술이다. 예스티는 이 기술을 사용했다는 증거가 없으며 비침해 판단을 내린 특허법원 판결을 적용해야 한다는 입장을 밝혔다.

30S는 예스티가 지난 3월 삼성전자에 공급한 최대 75매 처리 HPA 장비이며, 법원에 영상이 제출된 30L은 다른 글로벌 반도체 기업에서 수주한 최대 125매 처리 장비다. S와 L은 각각 쇼트와 롱을 의미한다. HPA 장비는 실리콘 산화물 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 반도체 특성을 개선하며, 과거 HPSP가 독점하던 시장에 예스티가 지난해 말 진입했다.

분쟁의 핵심인 ‘반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치’ 특허는 등록번호 1553027의 ‘027 특허’다. 특허법원은 지난 6월 이 특허의 유효성을 인정하면서도 예스티의 침해는 아니라고 판결했고, 양측이 상고하지 않아 7월 확정됐다. 정정심판을 거치며 권리범위는 축소됐다. 별도 특허 5건 가운데 1건은 무효 판단 뒤 심결취소소송이 진행 중이며, 나머지 4건의 절차는 종료됐다. 이번 소송의 마지막 변론기일은 다음 달 중순 열린다.