DB하이텍 유휴장비, 공공 반도체 R&D에 투입

DB하이텍이 국가 공공나노팹의 반도체 연구개발 인프라 확충을 위해 8인치 미세전자기계시스템(MEMS) 공정 장비 3대를 무상으로 넘긴다. 회사는 6일 충북 음성 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부와 공공나노팹 통합 플랫폼 모아팹 관계자들이 참석한 가운데 장비 이전 협약식을 열었다. 이전 대상은 고온 열처리 장비 1대와 식각 장비 2대다.

나노종합기술원에는 8인치 고온 열처리 증착장비가 설치된다. 음향 마이크와 압력·적외선 센서 등 MEMS 센서의 구조막을 균일하게 만드는 데 쓰이는 설비다. 20년 넘게 가동된 기존 장비를 대체해 작업 안전성을 높이고, 한 번에 처리하는 물량도 25개에서 50개로 확대할 수 있다. 나노융합기술원에는 8인치 건식 식각 장비와 표면 코팅 장비가 구축된다.

나노융합기술원으로 옮겨지는 장비는 차세대 피지컬 인공지능에 사용되는 초미세 센서 부품을 손상 없이 분리하고 보호막을 형성하는 공정에 활용된다. 기존 방식보다 초박막 부품의 품질과 완성도를 높이면서 공정 단계도 줄일 수 있을 것으로 예상된다. 이번 이전은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 맺은 모아팹 경쟁력 강화 업무협약의 후속 조치다.

기업이 사용하지 않는 장비를 공공 연구시설로 옮겨 반도체 연구개발과 시제품 제작에 활용하는 것은 이번이 첫 사례다. 정부는 이를 계기로 2033년까지 총 750억원을 투입하는 모아팹 중고장비 활용 지원사업을 추진한다. 기증된 유휴장비의 이전·설치 비용을 지원하고 전국 공공나노팹의 노후 설비를 교체해 산학연 공동 연구개발과 기술 실증, 사업화 지원 역량을 높일 계획이다. DB하이텍도 제조기술과 팹 운영에 필요한 자문을 이어갈 방침이다.