DB하이텍 유휴 장비, 공공 연구 인프라로 전환

DB하이텍이 상업 생산에 사용하던 8인치 반도체 공정 장비를 공공나노팹에 무상 이전한다. 과학기술정보통신부는 6일 충북 음성군 DB하이텍 상우캠퍼스에서 중고 장비 이전 협약식을 열었다. 고온 열처리 증착 장비는 나노종합기술원에, 건식 식각·표면 코팅 장비는 나노융합기술원에 각각 배치돼 공공 연구에 활용된다.

증착 장비는 초소형 정밀 부품과 센서의 구조막을 얇고 균일하게 입히는 설비다. 나노종합기술원은 20년 넘게 사용한 기존 장비를 이번 설비로 보강하면 생산량이 두 배로 늘어날 것으로 기대하고 있다. 식각·표면 코팅 장비도 초미세·초박막 부품을 손상 없이 처리해 품질 완성도를 높이는 연구에 투입된다.

이번 장비 이전은 과기정통부가 지난해 3월 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍과 맺은 업무협약의 후속 조치다. 세 기업은 유휴 중고 장비를 공공나노팹에 무상 제공해 산업 현장과 공공 연구시설 사이의 기술·장비 격차를 줄이기로 했다. 파운드리 기업인 DB하이텍은 전력반도체와 이미지센서, 디스플레이구동칩 등 성숙 공정 분야에 특화돼 있다.

정부는 올해부터 2033년까지 모아팹 중고 장비 활용 지원사업에 총 750억원을 투입한다. 전국 공공나노팹을 연결한 모아팹 플랫폼을 통해 기업 유휴 장비의 이전비와 구축비를 지원하고, 인공지능·첨단바이오·양자 산업의 기반인 나노·반도체 기술 고도화를 추진한다. 협약식 참석자들은 산·학·연 연구개발과 기술 실증, 사업화 연계, 소부장 테스트베드, 전문인력 양성 및 공공 연구 성과의 산업 적용 방안을 논의했다.