DB하이텍, 나노팹에 MEMS 장비 이전

DB하이텍이 국가 나노팹의 반도체 연구개발과 시제품 제작 역량을 높이기 위해 미세전자기계시스템(MEMS) 공정용 장비 3대를 지원한다. 장비 이전 협약식은 6일 충북 음성 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부와 국가 나노팹 통합 플랫폼 모아팹 관계자들이 참석한 가운데 열렸다.

이전 대상은 고온 열처리 장비 1대와 식각 장비 2대다. 해당 장비는 모아팹 참여기관인 나노종합기술원과 나노융합기술원에 각각 배치돼 반도체 연구개발 및 시제품 제작을 위한 공정 지원에 활용된다. 이날 행사에는 과기정통부와 DB하이텍, 모아팹 관계자 등 30여 명이 참석했으며, 협약 체결 후 플랫폼 운영·활용 방안을 논의하는 간담회와 팹 투어도 진행됐다.

MEMS는 첨단 반도체 제조공정을 이용해 나노 단위의 초소형 정밀기계를 만드는 기술로, 자동차와 스마트폰, 의료기기에 탑재되는 센서와 마이크로폰 등의 생산에 사용된다. 모아팹은 지역별 국가 나노팹을 하나의 체계로 연결해 반도체 연구개발과 시제품 제작을 지원하는 통합 플랫폼이다. 이번 장비 지원도 지역별 나노팹의 연계와 플랫폼 경쟁력 강화를 목적으로 추진됐다.

과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍은 지난해 3월 모아팹 경쟁력 강화를 위한 업무협약을 체결했다. DB하이텍은 이번 장비 이전을 계기로 국가 나노팹 지원 범위를 넓히고, 반도체 제조 기술과 팹 운영에 필요한 자문도 계속 제공할 계획이다. 장비 지원과 운영 자문을 함께 추진해 국내 시스템반도체 분야의 연구개발 기반 강화에 힘을 보탠다는 구상이다.