DB하이텍, 국가 나노팹에 MEMS 장비 3대 제공

DB하이텍이 국가 나노팹 통합 플랫폼 모아팹의 반도체 공정 지원 역량을 높이기 위해 미세전자기계시스템(MEMS) 공정용 장비 3대를 이전한다. 장비 이전 협약식은 6일 충북 음성에 있는 DB하이텍 상우캠퍼스에서 열렸으며, 과학기술정보통신부와 DB하이텍, 모아팹 주요 관계자 등 30여 명이 참석했다.

지원 대상은 고온 열처리에 쓰이는 퍼니스 장비 1대와 식각 장비 2대다. 장비는 모아팹 참여기관인 나노종합기술원과 나노융합기술원에 배치돼 연구개발과 시제품 제작을 비롯한 반도체 공정 지원 환경을 개선하는 데 활용된다. 협약식에는 구혁채 과기정통부 차관, 조기석 DB하이텍 대표이사, 박흥수 나노종합기술원장, 이병훈 나노융합기술원장이 함께했다.

이번 장비 이전은 지역별 국가 나노팹을 연계해 운영하는 모아팹의 경쟁력을 강화하려는 협력의 하나다. 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍은 지난해 3월 모아팹의 경쟁력 향상을 위한 업무협약을 체결했다. 이번 후속 협력을 통해 참여기관의 공정 지원 기반을 보완하고 국내 반도체 연구개발 인프라를 확대한다는 구상이다.

참석자들은 협약을 마친 뒤 모아팹의 운영 방식과 장비 활용 방안을 논의하는 간담회를 열고 DB하이텍 생산시설을 둘러보는 팹투어를 진행했다. DB하이텍은 이번 장비 제공을 계기로 국가 나노팹 지원을 넓히고, 향후에도 반도체 제조 기술과 팹 운영에 필요한 자문을 지속해 국내 시스템반도체 경쟁력 제고에 힘을 보탤 계획이다.