DB하이텍, MEMS 장비 3대로 나노팹 연구 지원

DB하이텍이 국가 나노팹의 연구개발 기반을 강화하기 위해 미세전자기계시스템(MEMS) 공정 장비 3대를 연구기관에 기증했다. 회사는 6일 충북 음성 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부 및 모아팹 관계자들과 반도체 장비 이전 협약식을 열었다. 장비 지원을 통해 시제품 제작과 공정 구현 여건을 개선하고 국내 시스템반도체 생태계의 경쟁력 향상에 힘을 보탤 계획이다.

이전 대상은 실리콘 웨이퍼에 미세 회로를 형성하고 박막 증착과 식각 작업을 거쳐 3차원 구조를 구현하는 초미세 반도체 공정 설비다. 연구개발 과정에서 설계한 공정을 실제로 구현하고 시제품을 만드는 데 활용되는 핵심 장비로 꼽힌다. 장비는 모아팹 참여기관인 나노종합기술원과 나노융합기술원에 각각 설치돼 산학연 연구진을 대상으로 한 공정 지원에 쓰일 예정이다.

이번 기증은 정부가 추진하는 국가 나노팹 연계 사업의 하나로 이뤄졌다. 과학기술정보통신부는 지난해 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등과 업무협약을 체결하고 민간 기업이 보유한 반도체 장비와 제조 노하우를 공공 연구 인프라에 연결하는 협력을 진행해 왔다. 기업의 생산 현장에서 활용된 자원과 경험을 연구기관의 공정 역량 확충에 접목하는 것이 사업의 주요 방향이다.

첨단 장비를 갖춘 국가 나노팹은 대학과 연구기관, 스타트업이 시제품을 제작하고 공정을 검증할 수 있는 환경을 넓히는 역할을 맡는다. 기업의 기술개발 역량과 함께 공공 연구시설의 지원 능력을 높여야 국내 시스템반도체 기반도 확대될 수 있다는 판단이 이번 지원에 반영됐다. DB하이텍은 장비 기증에 이어 반도체 제조기술과 팹 운영에 필요한 자문도 지속적으로 제공할 방침이다.