DB하이텍 8인치 장비, 공공나노팹 연구 기반으로

정부와 DB하이텍이 기업의 반도체 유휴장비를 공공 연구시설에서 다시 활용하는 사업을 시작했다. 과학기술정보통신부와 DB하이텍은 6일 충북 음성 상우캠퍼스에서 중고장비 이전 협약을 맺었다. DB하이텍의 8인치 파운드리 유휴장비 2종은 나노종합기술원과 나노융합기술원에 무상으로 이전돼 연구개발과 기술 실증에 투입된다.

나노종합기술원에는 초소형 정밀부품과 음향 마이크, 압력·적외선 센서 등에 얇고 균일한 구조막을 입히는 8인치 고온 열처리 증착장비가 구축된다. 20년 넘게 사용한 기존 장비를 교체하면서 안전성을 높이고, 한 차례 가동할 때 처리할 수 있는 물량도 25개에서 50개로 늘릴 수 있을 것으로 예상된다. 나노융합기술원에는 8인치 건식 식각·표면 코팅 장비가 배치된다.

건식 식각·표면 코팅 장비는 차세대 피지컬 인공지능용 미세 센서 부품을 분리하고 표면에 보호막을 형성하는 데 쓰인다. 공정 단계를 줄이는 동시에 부품의 품질과 완성도를 높이는 것이 활용 목표다. 이번 이전은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 체결한 업무협약을 구체화한 후속 조치다.

과기정통부는 올해부터 2033년까지 모아팹 중고장비 활용 지원사업에 총 750억원을 투입한다. 전국 공공나노팹을 잇는 플랫폼을 기반으로 기업 장비의 이전·구축 비용을 지원하고 노후 연구시설을 개선할 계획이다. 참여 시설의 전문인력을 활용해 산·학·연 연구개발과 기술 실증, 사업화 연계를 강화하고 공동 활용 기관도 확대한다. 협약식 참석자들은 8인치 생산라인을 살펴본 뒤 연구성과의 산업 적용과 소재·부품·장비 테스트베드 지원, 전문인력 양성 방안을 논의했다.