AF E&C, 초고순도 질소 설비 설계 역량 내재화
핵심 요약
AF E&C가 국내 반도체 제조시설에 맞춘 공기분리장치 개발과 국산화를 추진한다. G-gas의 Super-N 기술에 자체 엔지니어링과 EPC 역량을 결합해 초고순도 질소 설비를 공동 개발한다. 상세 설계 역량을 내재화하고 핵심 가스 생산설비의 국내 공급체계를 단계적으로 확대할 계획이다.
산업가스 전문기업 에어퍼스트의 100% 자회사 AF E&C가 국내 반도체 제조시설에 맞춘 공기분리장치(ASU) 개발과 국산화에 나선다. 해외 기술을 토대로 상세 설계와 엔지니어링 역량을 내재화하고, 반도체 공정에 필요한 초고순도 질소 생산·공급 설비의 국내 공급체계를 강화하는 것이 사업의 핵심이다.
AF E&C는 6일 중국 고순도 질소 설비 전문기업 광강가스엔지니어링(G-gas)과 반도체용 ASU 공동 개발을 위한 전략적 업무협약을 체결했다. G-gas의 독자 기술인 ‘Super-N’과 기본 설계에 AF E&C의 ASU 엔지니어링 및 EPC 역량을 결합한다. AF E&C는 국내 고객사의 요구를 반영한 상세 설계와 설계·조달·시공을 담당하고, G-gas는 주문자상표부착생산 방식으로 설비를 제작한다.
공동 개발 설비는 국내 반도체 제조시설이 요구하는 초고순도 품질 기준과 무중단 운영 요건 충족을 목표로 한다. AF E&C는 공정흐름도(PFD)와 배관계장도(P&ID)를 비롯해 주요 장비 구성과 사양을 구체화하고, 국내 운전 환경과 유지보수 편의성을 설계에 반영할 계획이다. 이를 통해 설비 안전성과 운영 효율성도 함께 높인다는 구상이다.
AF E&C는 이번 협력으로 해외 기술을 국내 제조 환경에 최적화하는 동시에 반도체용 ASU의 상세 설계와 엔지니어링 역량을 확보하고, 핵심 가스 생산설비의 국내 공급체계를 단계적으로 확대할 방침이다. 1975년 설립된 에어퍼스트는 반도체·석유화학·철강·이차전지·자동차·조선 산업에 산소와 질소, 아르곤 등을 공급한다. 현재 평택, 기흥·용인, 서산, 군산, 포항의 5개 ASU 클러스터와 전국 15개 온사이트 플랜트를 운영하고 있다.