155단 낸드 채널 결정 정렬로 저항 낮춘다
핵심 요약
삼성전자와 포스텍이 3D 낸드 실리콘 채널의 결정 성장 방향을 제어하는 기술을 개발했다. 155단 구조에서 채널 전체의 결정을 균일하게 정렬해 저항을 낮출 가능성을 확인했다. 초고적층 낸드의 성능과 전력 효율을 함께 확보할 기반이 마련됐다.
삼성전자와 포스텍 공동 연구진이 초고적층 3D 낸드의 수직 실리콘 채널에서 결정이 자라는 방향을 제어하는 기술을 개발했다. 적층 수가 늘어날 때 커지는 채널 저항을 줄여 데이터 처리 성능과 읽기 성능의 저하를 완화하고, 성능과 전력 효율을 함께 확보할 수 있는 기술적 기반을 마련한 성과다.
포스텍 신소재공학과·반도체공학과 황현상 교수와 신소재공학과 통합과정 권오혁 씨 연구팀은 삼성전자 반도체연구소·메모리사업부와 공동으로 연구를 진행했다. 연구진은 긴 채널 전체에서 전류가 원활하게 흐르도록 결정의 성장 방향을 유도하는 시드층을 제작해 채널 표면에 적용했다. 실제 155단 3D 낸드 구조에서는 채널 전체의 결정을 균일한 방향으로 정렬하는 데 성공했다.
3D 낸드는 정보를 저장하는 셀을 수백 층까지 수직으로 쌓아 저장 용량을 높이는 제품이다. 다만 층수가 증가하면 데이터를 전달하는 실리콘 채널이 길어지면서 저항이 커지고, 그 결과 처리 속도와 읽기 성능이 떨어지는 문제가 발생한다. 이번 기술은 채널 내부의 결정 성장 방향을 정밀하게 통제하는 방식으로 이 같은 초고적층 구조의 물리적 한계에 접근했다.
연구 성과는 반도체 학회인 ‘2026 IEEE 국제 VLSI 기술 및 회로 심포지엄’에서 발표됐고, 국제 학술지 ‘네이처 일렉트로닉스’의 리서치 하이라이트에도 선정됐다. 삼성전자는 미국에서 열린 ‘FMS 2026’에서 400단 이상을 수직 적층한 10세대 V낸드 ‘V10 BV-낸드’를 업계 최초로 공개했으며, 차세대 3D 메모리 구조인 ‘zHBM’과 ‘zNAND-O’ 목업도 처음 선보였다. 고적층 경쟁이 심화하는 가운데 이번 연구는 채널 저항과 전력 효율 문제를 함께 다룰 수 있는 기반 기술로 평가된다.