유휴 반도체 장비, 공공 나노팹 연구에 재활용

기업의 반도체 유휴 장비를 공공 연구시설로 옮겨 연구개발과 기술 실증에 활용하는 사업이 첫발을 뗐다. DB하이텍은 생산 현장에서 사용하던 첨단 공정 장비를 나노종합기술원과 나노융합기술원에 무상으로 이전한다. 정부는 산업 현장과 공공 연구기관 사이의 장비 격차를 줄이고 반도체 연구 기반을 강화할 계획이다.

과학기술정보통신부와 DB하이텍, 공공 나노팹 관계자들은 6일 충북 음성 DB하이텍 상우캠퍼스에서 중고장비 이전 협약을 체결했다. 나노종합기술원에는 센서 구조막을 균일하게 만드는 8인치 고온 열처리 증착장비가 들어선다. 20년 넘게 사용한 기존 장비가 교체되면 작업 안전성이 개선되고, 한 번에 처리하는 물량은 25개에서 50개로 늘어난다.

나노융합기술원에는 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비가 구축된다. 차세대 피지컬 AI용 초미세 센서 부품을 손상 없이 분리하고 보호막을 형성하는 설비다. 초박막 부품의 품질과 완성도를 높이는 동시에 공정 단계를 줄이는 데 활용된다. 이번 이전은 2025년 3월 정부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 맺은 반도체 생태계 협력 업무협약의 후속 조치다.

정부는 전국 공공 나노팹을 연결하는 공동 활용 플랫폼 ‘모아팹’을 중심으로 장비 재활용을 확대한다. 2026년부터 2033년까지 750억원을 투입해 기증 장비의 이전과 설치 비용을 지원하고 참여 기관도 늘릴 예정이다. 산학연 공동 연구개발과 기술 실증, 사업화 지원 기능을 강화하는 한편 공공 나노팹 성과의 산업 적용과 소재·부품·장비 테스트베드 지원도 추진한다.