삼성SDI, 맞춤형 SOH로 AI 반도체 수요 대응

삼성SDI가 20년간 연구개발과 양산 경험을 쌓은 스핀 온 하드마스크(SOH)의 고객 맞춤형 제품군을 앞세워 AI 반도체 소재 시장 공략을 강화한다. AI와 자율주행, 고성능 컴퓨팅 확산으로 초미세·다층 회로 수요가 커지는 가운데, 고내에칭성과 고막강도, 고두께 형성성, 평탄화 성능을 갖춘 제품으로 반도체 공정 고도화에 대응하고 있다.

SOH는 식각 과정에서 포토레지스트가 만든 미세 회로 패턴을 보호하는 코팅 소재다. 식각 저항성이 높은 막을 형성해 패턴이 쓰러지거나 휘어지는 현상을 억제하고, 깊고 정교한 회로 구현을 돕는다. 삼성SDI 제품은 액체 소재를 웨이퍼에 분사한 뒤 회전시켜 고르게 펴 바르는 스핀 코팅 방식을 적용했다. 가스를 주입해 막을 입히는 화학 기상 증착보다 공정을 단순화해 생산성과 효율을 높이고 불량률을 낮추는 데 기여한다.

삼성SDI는 2005년 SOH 개발에 착수해 약 1년 5개월 뒤인 2006년 8월 상용화에 성공했다. 해외 업체 의존도가 높았던 이 소재를 국내에서 처음 국산화했으며, 이후 경북 구미공장에서 양산을 이어왔다. SOH는 반도체 소재 사업의 고부가가치 제품으로 자리 잡았고, 회사는 공정 특성과 고객 요구에 맞춰 막의 강도와 두께, 평탄화 수준을 달리한 솔루션을 구축했다.

전자재료 부문의 실적도 확대됐다. 삼성SDI의 올해 2분기 연결 매출은 3조7688억원, 영업이익은 2038억원이었다. 전자재료 매출은 2498억원으로 전년 동기보다 14.5% 늘었고, 영업이익은 445억원으로 34.8% 증가해 전체 영업이익의 21.8%를 차지했다. 회사는 D램용 EUV 소재와 파운드리 패터닝 소재, 패키징 소재의 판매를 넓히는 한편 글로벌 반도체 고객을 다변화해 수익성을 확보할 계획이다.