비씨엔씨, 북미에 실리콘 부품 세트 공급

반도체 소재·부품 기업 비씨엔씨가 북미 글로벌 반도체 기업의 첨단 공정에 대형 부품을 포함한 ‘실리콘 풀 키트’ 양산 공급을 시작했다. 실리콘 풀 키트는 장비 챔버 내부에 쓰이는 여러 실리콘 부품을 한 세트로 제공하는 방식이다. 상반기 식각 공정용 포커스링을 공급한 데 이어 품목을 챔버용 실리콘 부품 전반으로 확대한 것이다.

공급 제품에는 비씨엔씨가 국산화한 폴리실리콘 소재 ‘SD9+P’가 적용됐다. 이 소재는 제조 과정에서 발생할 수 있는 질화물 성분을 제거한 고순도 제품이다. 포커스링은 웨이퍼 주변의 플라스마가 고르게 분포하도록 돕는 원형 소모품으로, 회사는 SD9+P를 앞세워 높은 품질이 요구되는 시장에서 기존 단결정 실리콘 소재를 대체한다는 목표를 세웠다.

비씨엔씨는 실리콘 소재 국산화를 위해 2024년까지 약 200억원을 투자했다. 2023년 말 시험 장비로 SD9+P 생산을 시작했고, 이듬해 소재 생산·가공 시설을 완공했다. 지난해 2월 해외 고객사에서 포커스링 첫 구매주문을 확보한 뒤 올해 풀 키트까지 공급 범위를 넓혔다. 해외 소재를 가공하는 방식에서 벗어나 폴리실리콘 생산부터 완제품 제조까지 자체 수행하는 수직계열화 체계도 구축했다.

회사는 폴리실리콘과 합성쿼츠 소재 ‘QD9+’를 중장기 성장 동력으로 육성하고, 궁극적으로 챔버 내부 부품을 두 소재로 구성해 세트 단위로 공급할 계획이다. 세계 반도체용 폴리실리콘 부품 시장은 지난해 약 3조원, 국내 시장은 약 6500억원 규모로 추산했으며 향후 수년간 연평균 15% 안팎의 성장을 예상했다. SD9+P가 겨냥한 단결정 실리콘 포커스링 시장은 5조원 이상으로 추정했다. 김돈한 대표는 소재 내재화와 수직계열화를 바탕으로 챔버 단위 종합 솔루션 공급을 확대하겠다는 방침을 밝혔다.