기업 유휴 반도체 장비, 공공 연구시설에 새 둥지

정부가 반도체 기업에서 사용하지 않는 장비를 공공나노팹으로 옮겨 연구개발 기반으로 활용하는 사업을 본격화한다. 과학기술정보통신부는 올해부터 2033년까지 총 750억원을 투입해 기업 유휴장비의 이전과 구축에 필요한 비용을 지원한다. 공공나노팹은 나노기술 연구개발과 관련 소재·제품의 시제품 제작을 수행할 수 있는 시설이다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 6일 충북 음성군에서 개최된 DB하이텍과 모아팹의 중고장비 이전 협약식에 참석했다. 이번 협약으로 DB하이텍은 첨단 중고장비를 모아팹 참여기관에 무상 이전한다. 해당 장비는 나노종합기술원과 나노융합기술원에 각각 구축돼 반도체 핵심 공정 연구개발과 기술 실증을 지원하는 데 쓰일 예정이다.

이번 장비 이전은 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 지난해 3월 맺은 업무협약의 후속 조치다. 과기정통부는 장비 공동 활용 플랫폼인 모아팹을 중심으로 기업의 유휴장비를 공공나노팹에 이전하는 민·관 협력 모델을 마련했다. 장비를 제공하는 기업과 연구시설을 연결하고 이전·구축 비용을 지원해 공공 연구 인프라를 확충하는 구조다.

협약식 뒤 구 차관과 참석자들은 DB하이텍의 8인치 파운드리 생산라인을 둘러봤다. 현장에서는 민·관 협력을 통한 반도체 생태계 강화와 공공나노팹 연구성과의 산업 적용을 위한 기술 지원, 소재·부품·장비 테스트베드 지원 방안이 논의됐다. 정부는 사업을 예정대로 추진해 공공나노팹의 연구지원 인프라를 고도화하고 첨단 반도체·나노 기술 혁신과 전문인력 양성을 뒷받침할 계획이다.